參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品詳情
主要特點(diǎn) | 可嚴(yán)格控制被磨樣品表面的平行度和平面度,控制準(zhǔn)確度高。研磨過(guò)程中可搭配數(shù)顯測(cè)厚儀使用,隨時(shí)觀測(cè)樣品磨削量,尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨使用。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、載樣盤(pán)直徑:?103mm 2、載樣盤(pán)軸向行程:14mm 3、數(shù)顯表精度:0.001mm 4、載樣盤(pán)可調(diào)加載壓力:0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g 6、樣品裝卡方式:真空吸附 7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、厚度≤13mm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:外徑146mm,高266mm |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1、真空泵 2、過(guò)濾瓶 3、底座 4、玻璃片 |