三靶射頻磁控濺射鍍膜儀--VTC-3RF （2019.5.27--科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備    3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>    4、配件妥善保管提示

·標(biāo)配的石英腔體（也可選配金屬腔體）方便觀察（圖1）

·相比傳統(tǒng)濺射儀，體積小巧，拆裝方便（圖2）

·模塊化設(shè)計(jì)，靶頭，電源等多種可選，自由DIY（圖3）

·基臺(tái)可旋轉(zhuǎn)可加熱

·可濺射金屬和氧化物。實(shí)驗(yàn)室已初步制備了 氧化鋅、碲化鉍、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。

            圖一                           圖二                                圖三       

1、輸入電源：220V AC50/60Hz

2、設(shè)備功率：<>

3、靶臺(tái)加熱溫度：500℃

4、樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速：0-10r/min

5、靶頭可調(diào)傾角：0-25度

6、濺射腔體尺寸：278mm OD x 272mm ID x310mm H。 

7、靶材尺寸要求：1英寸磁控濺射靶頭Φ25.4mm ×（0.1-3）mm(厚度）

           2英寸磁控濺射靶頭Φ50mm ×（0.1-3）mm(厚度)

8、使用功率：1英寸磁控濺射靶頭100W

           2英寸磁控濺射靶頭300W

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

·設(shè)備配備三個(gè)直流射頻通用靶頭，1英寸2英寸尺寸可選。

·儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，加熱溫度是500℃（圖1）

·配有300W自動(dòng)匹配射頻電源和500W的直流濺射電源（可自由選擇）（圖2）

·設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶（圖3）

·配有靶頭電動(dòng)升降臺(tái)（圖4）

·配有高純石英密封罩（圖5）

           圖一              圖二                     圖三                     圖四               圖五

700mm L x 770 mm W x 1900 mm H

凈重：80 kg（不包括泵）

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：

   1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

   2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 

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·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證

  證書編號(hào)：M.2021.206.C67994

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證