參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品詳情
射頻電源 | 輸出:5-100W(可調(diào)),穩(wěn)定性:± 1% 頻率:13.56MHz,穩(wěn)定性:±0.005% 匹配方式:手動(dòng)匹配 冷卻方式:風(fēng)冷 噪音量:<> 輸入:110 -240VAC, 50/60Hz |
尺寸 | |
可選配件 | 1英寸高真空磁控濺射頭,可自己搭建RF或DC濺射鍍膜儀 當(dāng)同時(shí)購(gòu)買100W射頻發(fā)射器和1英寸磁控濺射頭時(shí),本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸,可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸,真空腔體的壁厚不得大于1英寸 循環(huán)水冷機(jī),流量為16L / min ,水箱容積為6L |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù) |