· 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作

· 采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布

· 磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命

· 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配

· 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作

更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度

· DC（）1000W

RF（）500W

3A

100-1000V

5-100 mTorr

陽極護(hù)套直徑：3.5英寸

總長度：14英寸

直徑: 2.0英寸(50.8mm)

厚度: 對于非磁性靶材，厚度為1/8英寸
對于磁性靶材，厚度為1/16英寸

靶材利用率：30%

磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

流速:0.8 GPM

進(jìn)水溫度:<>

水管:0.25" OD.

· 當(dāng)同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭

· 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
 

循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)